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名稱：特氣柜（Gas Cabinet）
用途：特氣柜主要用于供應(yīng)特種氣體，如易燃、易爆、劇毒等，以滿足半導(dǎo)體和LED等新興行業(yè)的需求。
供應(yīng)商：西安西能光伏科技有限公司
特氣柜（Gas Cabinet）優(yōu)勢特點(diǎn)介紹：
安全性：特氣柜的設(shè)計(jì)和制造過程中注重安全因素，具有完善的安全報(bào)警裝置，如氣體泄漏檢測報(bào)警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報(bào)警）報(bào)警信號被觸發(fā)時(shí)，自動切斷。此外，特氣柜采用PLC控制，通過設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計(jì)等裝置，實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。
高效性：特氣柜采用自動吹掃和自動切換功能，可以快速準(zhǔn)確地供應(yīng)所需氣體，確保生產(chǎn)過程的順利進(jìn)行。
純度：特氣柜內(nèi)部采用高純閥件的合理選擇和布局，以滿足半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過程中對氣體的純度要求。
可靠性：特氣柜采用PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能，確保設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性，降低故障率。
定制化：特氣柜的箱體設(shè)計(jì)采用安全設(shè)計(jì)，所選用的材料適用于各種不同性質(zhì)的氣體，可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制。