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MAT尾氣處理設(shè)備
：13509184730
內(nèi)容介紹
/ introduce
名稱：MAT尾氣處理設(shè)備品牌：韓國MAT
用途：一種用于處理廢氣的設(shè)備，主要應(yīng)用于非晶硅薄膜太陽能電池、液晶顯示器、半導(dǎo)體、微電子等行業(yè)中產(chǎn)生的廢氣
供應(yīng)商：西安西能光伏科技有限公司
MAT尾氣處理設(shè)備優(yōu)勢特點：
整機設(shè)計美觀，符合安全標(biāo)準(zhǔn)。
擁有處理量大、效率高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點。
總之，MAT尾氣處理設(shè)備是一種高效、安全的廢氣處理設(shè)備，可廣泛應(yīng)用于多個領(lǐng)域。
|
Content |
Specification |
|
Model |
H1 |
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Treatment type |
Thermal & wet |
|
Capacity |
600SLM |
|
Applicable process |
NH3 : 30SLM, H2 50SLM SiH2Cl2 : 0.5SLM, SiH4 : 0.5SLM PH3 : 0.5SLM, AsH3 :0.5SLM |
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Control type |
PLC base touch screen |
|
Dimension (W x D x H ,mm) |
750 X 700 x 1731 |
|
AC power full load |
208~220V 1phase 8kw |
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Running power |
208~220 1phase 6kw |
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No |
Gas |
Processing type |
Scrubber spec (%) |
Gas Reaction |
|
1 |
BCL3 |
Heat &wet |
99 |
BCl3 + 3 FeO (OH???) ®B(OH)3 + 3 FeOCl |
|
2 |
CL2 |
wet |
99 |
2 Cl2 + 4 FeO (OH???) ®4 FeOCl + O2 + 2 H2O |
|
3 |
HCL |
Wet |
98 |
3 HCl + FeO (OH???) ®FeCl3 + 2 H2O |
|
4 |
HBr |
Heating |
97 |
2HBr+1/2O2→H2O+Br2 |
|
5 |
NF3 |
Heating &wet |
96 |
2NF3 → N2+3F2 |
|
8 |
CHF3 |
Heating &wet |
95 |
CHF3+O2 → CO2+HF+F2 |
|
9 |
SiH4 |
Heating &wet |
99 |
SiH4+2O2 → SiO2+2H2O |
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10 |
DCS |
Heating &wet |
98 |
SiH2Cl2+3/2O2 → SiO2+H2O+Cl2 |
|
11 |
B2H6 |
Heating &wet |
99 |
B2H6+3O2 → B2O3+3H2O |
|
12 |
PH3 |
Heating &wet |
99,9 |
2PH3+4O2 → P2O5+3H2O |
|
13 |
TEOS |
Heating &wet |
98 |
Si(CO2H5)4+12O2 → 8CO2+SiO2+10H2O |
|
14 |
NH3 |
Heating &wet |
99 |
4NH3+3O2 → 2N2+6H2O |
|
15 |
WF6 |
Heating (H2 supply 20slm) |
95 |
WF6+3/2O2 → WO3+3F2 |
|
16 |
N2O |
Heating |
98 |
N2O → N2+1/2O2 |
|
18 |
POCL3 |
Heating &wet |
95 |
4POCL3 +3O2 -> 2P2O5 + 6 CL2 |
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19 |
SiHCL3 |
Heating &wet |
97 |
SiHlCL3+O2 → SiO2+3Cl3 |
|
20 |
SiH2CL2 |
Heating |
97 |
SiH2CL2+O2 → SiO2+2Cl2 |
|
21 |
SiCL4 |
Heating &wet |
97 |
SiCl4+O2 → SiO2+2Cl2 |
|
22 |
BF3 |
Heating &wet |
97 |
2BF3+3/2O2 → B2O3+3F2 |
|
23 |
H2 |
Heating |
99,99 |
H2+1/2O2 → H2O |
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西安西能光伏科技有限公司
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